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实验室小型CVD系统管式炉
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实验室小型CVD系统管式炉
实验室小型CVD系统管式炉

实验室小型CVD系统管式炉

时间:2026-07-27 10:34:38
系列: SGM 别称: 气氛管式炉 温度: 规格: 类型: 高温管式炉
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产品详情

  实验电炉CVD系统什么意思?CVD是Chemical Vapor Deposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。

  真空CVD系统简称CVD系统,CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ,额定温度可以达到1200度、1400度、1700度,加热区间可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合

  这款CVD系统是由8路供气系统+SGM1200双温区管式炉+真空系统组成

  SGM1200双温区管式炉:以硅碳棒或电炉丝为加热元件,有两个加热区,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,每个加热区能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端装有304不锈钢法兰,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,该炉为卧式,两个温区可以立控制、设置不同的温度,使用方便,操作简单。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品.。

  实验室想买一套CVD的设备请问管式炉什么牌子?洛阳西格马高温电炉专业生产CVD管式炉CVD实验真空炉。

  1200℃单温区CVD系统主要技术参数:

1200℃管式炉CVD系统
单温区、双温区、三温区
SGM.  CVD/12L
1200℃
 420mm
210mm
 Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm
 2.5Kw
 220V
 厦门宇电 控温系统50段程序控温;
  ±1℃
<1200℃
密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在一第次使用设备的时候安装
 质量流量计
 3路(可根据具体需要选配气路数量)
0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定
 ±1%F.S
≤4sec
5-45℃
 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)
 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
 中真空
 10Pa/100Pa
 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/S,出气口配有油污过滤器,额定电压220V,功率0.55Kw
                   340×580×555mm     480×770×605mm
                                                                               530x1440x750mm
                                                                                        230kg
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洛阳西格马高温电炉有限公司

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