石英陶瓷坩埚,全称为高纯熔融石英陶瓷坩埚(二氧化硅含量≥99.9%)。是以高纯熔融石英为原料做成的陶瓷质坩埚。一般情况下,其形状主要有方形和圆筒形。其中,方形的高纯石英坩埚用在多晶硅铸锭环节,充当多晶硅化料和长晶的容器;圆形的高纯石英坩埚则用在单晶硅中拉单晶的环节。
石英陶瓷坩埚生产工艺为:制备料浆--浇注成型--毛坯干燥--烧结--切割磨削加工--成品。
材料性能参数:
长期使用温度(℃):1100
| 项目 | 单位 | 性能指标 |
| SiO2含量 | wt% | ≥99.5 |
| 体积密度 | g/cm3 | 1.80-1.90 |
| 显气孔率 | % | 14/17 |
| 抗压强度 | MPA | ≥50 |
| 热膨胀系数 | ×10-6/℃ | ≤0.6 |
| 热传导率 | w/m.℃ | 0.65 |