双温区滑轨管式炉

  管式炉主要通过程序自动精度控温来实现CVD、PVD和退火处理等实验手段，并且可以通过滑轨实现快速降温。炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却。想实现快速地加热，可将加热炉预热至所需温度，把炉体滑动至样品位置。 想实现快速的冷却，可在样品处加热完成后将炉体滑到另一侧。

  双温区滑轨炉规格参数：

  配置：

  双温区滑轨管式炉一套(带三路流量控制系统一套氮气500sccm，氩气500sccm，氢气50sccm)，KF25抽气口真空泵一套，法兰改装(两端全部改装，每端三个出气口其中包括KF25抽气接口，1/4,接口出气口，以及真空压力表出气口和宝塔抽气接口)

  1、壳体结构：双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度小于60度；炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，减少热量的损失；内炉膛表面涂有美国1750度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

  2、功率：2.5KW

  3、电压：AC220V50Hz/60Hz

  4、工作温度：额定1200℃(＜1h)，连续工作1100℃

  5、升降温速率：20℃/min

  6、控温精度：±1℃

  7、真空度：10-2torr(机械泵)，10-5torr(分子泵)

  8、漏气率：＜5mtorr/min

  9、升温速率: ≤10℃/min

  10、炉管尺寸和法兰：纯度99.8％的高纯石英管；包括不锈钢真空密封法兰，针阀，和压力表

  11、扩展接口：标配KF25adapter转接头；标配VCR双卡套接头，炉子两端装有法兰支架支架长度根据炉管尺寸定做！(非标定制)

  12、温控系统：PID智能化温度控制器，可以设置30段升降温程序；每个温区可以立的设置，带有过热和断偶保护

  13、控制方法：PID自动控制