1700度二通道混气高真空CVD系统：二路质子混气系统和高真空机组
SGM1700度二通道混气高真空CVD系统是由洛阳西格马高温电炉研发生产的的二通道高真空CVD系统，1700度二通道混气高真空CVD系统是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其工作温度可达1600℃，极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精度的混气，然后导入到管式炉内部。
洛阳西格马高温电炉可生产1200度二通道混气高真空CVD系统、1700度二通道混气高真空CVD系统、1200度双温区三通道混气高真空CVD系统、1200度三双温区三通道混气高真空CVD系统。
高真空CVD系统可配置选项：
温度：1200℃、1700℃
温区：单温区、双温区、三温区
炉型：开启式管式炉、滑轨式管式炉、可旋转管式炉（回转炉）
混气系统：双通道、三通道、四通道、五通道
流量计：浮子混球系统、质子混气系统
附件：进料系统
高真空CVD系统应用：
高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
1700度二通道混气高真空CVD系统技术参数
| TF-1700度管式炉 | 壳体 |
1、采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度 < 55°C. 2、内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 3、保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失 4、真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动 5、仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组 |
| 炉管 |
6、材质: 高纯氧化铝陶瓷管 7、 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上 （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length （选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length |
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| 功率 | 6KW | |
| 工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
| 加热元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |
| 工作温度 |
额定温度.: 1700°C 连续工作温度.: 1600°C |
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| 升温速率 | ≤5°C/min | |
| 加热区长度 |
加热区长度: 457 mm (18") 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 |
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| 温控系统 |
采用PID方式自动控制，并可设置30段升降温程序 控温精度: ±1°C 控温仪表操作视频 热电偶: B 型，已经安装在炉内 |
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| 真空法兰 |
一对不锈钢真空密封法兰已经安装 法兰上带有一机械压力表 两个精密针阀 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口 一个1/4"卡套接头 |
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| 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm | |
| 高真空机组 | 功率 | 100~110W |
| 工作电压 | AC 208-240V单相, 50/60Hz | |
| 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
| 壳体 |
壳体尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 额定承载量:600 Lbs on top 分子泵控制面板:LCD 数字显示 内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: |
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| 控制面板 |
一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率 |
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| 抽气速率 |
N2 33 L/s He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s |
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| 工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
| 极限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
| MFC 质量流量控制器 | 壳体 |
采用 316不锈钢制作 混气箱尺寸: Φ80X120mm 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根据客户要求定制 |
| 功率 | 18W | |
| 工作电压 | AC 208-240V, 单相, 50/60Hz | |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 | |
| 可认证 |
CE 认证 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证 |
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