CVD系统设备：3路浮子混气+三温区1700℃管式炉
CVD系统设备：3路浮子混气+三温区1700℃管式炉是由洛阳西格马电炉生产，CVD系统设备采用SGM1700℃三温区管式炉与3路浮子混气以及真空系统搭建。
CVD系统设备：3路浮子混气+三温区1700℃管式炉
CVD系统设备：3路浮子混气+三温区1700℃管式炉是一款通过CE认证的三温区管式炉CVD系统，其炉管直径为60mm,其真空泵采用双旋机械泵，混气系统为3路浮子混气系统。此高温炉烧结温度可达1700℃，真空度可达到5x10-2 torr ，可以混合1-3种气体。
CVD系统设备：3路浮子混气+三温区1700℃管式炉技术参数
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炉体结构 |
采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃ |
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炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，额定程度减少能量损失 |
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内炉膛表面涂有的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长炉膛的使用寿命 |
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三个温区分别被三个立的温控系统控制 |
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功率 |
9 KW(需要75A的空气开关 ) |
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电压 |
AC 208-240V 单相, 50/60 Hz |
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加热区 |
总加热区长度:25" (630 mm) |
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加热温区1长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热，额定温度可达1400℃ |
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升温速率: 10℃/min |
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加热温区2长度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅钼棒加热，额定温度可达1700℃ |
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设计快升温速率:5℃/min |
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加热温区3长度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通过4根硅碳棒加热，额定温度可达1400℃ |
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额定升温速率:10℃/min |
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炉管和法兰尺寸 |
99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube |
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尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length |
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一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表 |
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仪器中包括4个氧化铝管堵 |
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温控系统 |
3个温控系统，都是PID30段程序化控温 |
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控温精度度 |
±1℃ |
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低真空系统 |
采用TRP-12的双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr. |
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一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接 |
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数字式真空显示计 |
CE认证的皮拉尼式数显真空计，带有LED数字式显示，其量程为10-4 to 1000 Torr. |
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三路浮子混气系统 |
3个浮子流量计（精度度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。 |
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一第路气体流量范围为10-100 cc/min. |
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第二路气体流量范围为16-160 cc/min. |
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第三路气体流量范围为25-250 cc/min. |
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一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接 |
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移动架上安装有4个不锈钢针阀 |
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尺寸 |
高温炉: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
