-
-
高温电阻炉实力制造商
多年高温电阻炉经验，多项高温技术
-
-
全国统一服务热线
多年高温电阻炉经验，多项高温技术
全国统一服务热线
热门关键词: 化学气相沉积系统 化学气相沉积系统 小型锂电池材料烧结设备 小型真空钎焊炉 小型负极材料烧结炉 搅拌马弗炉 真空气氛搅拌炉
PECVD系统由管式炉,石英真空管、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。 PECVD 系统主要应用于金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,石墨烯等生长。 洛阳西格马可生产1200度实验用小型PECVD、1200度实验用双温区管式炉小型PECVD、低真空CVD系统、等离子增强化学气相沉积系统。
气相沉积法化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用设计为广泛的用来沉积多种材 料的技术， 包括大范 围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
CVD 技术常常通过反应类型或者压力来分类，包括低压 CVD(LPCVD)，常压 CVD(APCVD)，亚常压 CVD(SACVD)，超高真空 CVD(UHCVD)，等离子体增强 CVD(PECVD)，高密度等离子体 CVD(HDPCVD) 以及快热 CVD(RTCVD)。
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
PVD和热锚点CVD相比，PECVD可以在相对较低的温度（小于350℃）下沉积出高均匀性薄膜。此外，对于SiO2, SiNx, a-Si, SiON 和 DLC等材料的沉积，等离子沉积技术提供了秀的薄膜性能控制（折射率、硬度等）。
1200度实验用小型PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
1、1200度开启式滑动单温区真空管式炉
2、等离子射频电源
3、多路质量流量控制系统
4、真空系统（单购买）
可实现手动滑动或自动滑动、气路数量2-5可选择；温度范围宽；溅射区域长；整管可调；精致小巧，性价比高，可实现快速升降温，是实验室生长薄膜石墨烯，陶瓷薄膜，金属薄膜，复合薄膜等的不错的选择，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
|
系统名称 |
SGM 集成型PECVD系统 |
SGM 1200℃小型PECVD系统 |
|
系统型号 |
SGM PECVD-12IH-500A |
SGM PECVD-12IH-4Z/G |
|
控制方式 |
液晶屏微PLC控制系统 |
手动 |
|
额定温度 |
1200℃（可选1300℃、1400℃、1700℃等） |
|
|
加热区长度 |
200mm（可按需定制） |
|
|
恒温区长度 |
100mm（可按需定制 |
|
|
温区 |
单温区(可生产双温区、三温区) |
|
|
炉管材质 |
石英管 | |
|
石英管管径 |
Φ60mm |
Φ50mm |
|
额定功率 |
1.2Kw |
2Kw |
|
额定电压 |
220V |
|
|
滑动方式及距离 |
自动滑动;200mm |
手动滑动;200mm |
|
温度控制 |
30段程序控温 |
50段程序控温 |
|
控制精度 |
±1℃ |
|
|
炉管工作温度 |
＜1200℃ |
|
|
气路法兰 |
采用多环密封技术卡箍快速连接 |
|
|
排风冷却装置 |
先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到50℃时， 排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温。 |
|
|
气体控制方式 |
质量流量计（按键式） |
|
|
气路数量 |
2路（2-4路） |
4路（可根据具体需要选配气路数量） |
|
流量范围 |
0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定 |
|
|
精度 |
±1%F.S |
|
|
响应时间 |
1sec |
|
|
工作温度 |
20-120℃ |
|
|
工作压力 |
进气压力0.05-0.3Mpa(表压力） |
|
|
进气方式 |
采用防倒流设计 |
|
|
规格 |
中真空（集成型请单购买） |
|
|
系统真空范围 |
10Pa-100Pa |
|
|
真空泵 |
双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa，抽气速率4L/S（选配：其他抽速真空泵）,出气口配有油污过滤器，额定电压220V，功率0.55Kw |
|
|
信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
|
|
功率输出范围 |
0W-500W |
0W-100W |
|
反射功率 |
350W |
30W |
|
射频输出接口 |
50Ω，N-type,temale |
|
|
功率稳定度 |
±0.1% |
|
|
谐波分量 |
≤-50dbc |
|
|
供电电压 |
单相交流（187V-253V)频率50/60HZ |
|
|
整机功率 |
≥70% |
|
|
屏幕显示 |
正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值 |
|
|
炉体外形尺寸 |
290×360×350mm |
290×350×490mm |
|
系统外形尺寸 |
420×1440×1100mm |
530×2310×750mm |
|
系统总重量 |
大约276Kg |
|
中试钠离子电池正极材料气氛炉..
详细了解
中试钠离子电池正极材料气氛炉为小批量钠离子电池正极材料煅烧箱式气氛炉，可用于固相法制备钠电正极材料。该箱式气氛煅烧炉是固相法中关键的设备，它的设计..
详细了解
小型锂电池材料烧结设备有哪些?小型锂电池材料烧结设备有气氛旋转管式炉、箱式气氛炉。这两种高温气氛炉设备都广泛应用于锂电池材料的烧结过程，它们能够提..
详细了解
该中试锂电池前驱体烧结炉为锂电池前驱体烧结用箱式气氛炉，可生产镍钴锰酸锂、镍钴铝酸锂三元材料前驱体烧结炉、负极材料预碳化前烧结炉..
详细了解
智能马弗炉为实验室用可程式箱式电阻炉..
详细了解
1200度石墨锂电负极材料箱式气氛炉..
详细了解
售前客服