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真空钼丝炉使用方法及注意事项
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真空钼丝炉使用方法及注意事项

真空钼丝炉又称真空钼丝烧结炉,真空钼丝炉使用方法及注意事项

一、 使用方法:

1. 通电前,检查各开关放在(关)位,升温方式“手动”,当达到要求的真空度时,才能加热升温。

2. 控制电源开:根据工艺要求顺序来启动机械泵、扩散泵。

3. 炉内真空度测量:根据真空计的操作进行,当达到要求的真空度时,才能加热升温。

4. 手动升温:在炉温200℃以下先用手动方式升温,否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮,缓慢调节手动功率调节(顺时针方向),使电流慢慢上升,禁止超过次级额定电流 900A,电炉温度随之上升。

5. 降温可按预先设定的程序控制降温,也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水,否则炉体密封圈会烧坏。

6. 电炉外表应经常保持整洁,不用时应保持真空,否则下次使用会导致抽真空效率降低。真空炉及真空习题使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂,轴向密封指观察窗挡板座、启动真空蝶阀等部位,在使用半年后应旋开热点偶做加注扩散泵油。

7. 真空炉的观察窗玻璃在使用一炉后应卸下清洁。

8. 如在使用中发现机械泵按下启动按钮后不能正常转动。一般是电动机过载保护了,可打开控制柜观察热保护器是否过载保护,如自动保护了,则按RESET 按钮解除。再启动机械泵就正常了。

9. 为提高烧结温度的准确性,坩埚底部建议垫高5-10m。

10. 充还原性气氛时应先用中性气氛洗气,抽真空在充入还原性气氛,通气前应锁紧炉盖。

二、注意事项:

电炉抽真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运转正常后,析开通向炉体的低真空阀,预先对炉体抽气,此阀打开时应该缓慢,以免机械泵排气口处有油喷出。

炉体抽真空同时,打开另一低真空阀,对扩散泵抽气,当真空度达到 1Pa 后,可使用高真空,先开启扩散泵上的冷却水,然后对扩散泵加热,一般经过45 分钟左右扩散泵起作用,就可关上通向炉体的真空阀,打开大真空阀,真空度可很快达到1.33X10-1 Pa 以上,即可对电炉通电加热。

新炉第一次加热因放气较多,真空度容易下跌,另外工件加热放气也使真空下跌,所以要慢慢升温。因扩散泵就低于 20Pa 就无法工作而且极易氧化,另外扩散泵油在低真空下易氧化,扩散泵就无法作用。另外电炉在不用时抽真空状态下保存,下次抽气快些。欲停止抽真空,应先关闭高真空阀,然后停止加热,1 个半小时后,关闭低真空阀,停止机械泵运转,只有扩散泵完全冷却之后,才能切断其冷却水供应。

1.热电偶为钨铼型,真空中使用寿命较长。如果损坏应及时更换。其型号是W2 型。

2.冬天应注意循环水的保暖问题,否则是发生水管爆裂。


3.有条件的情况下建议在循环水源上再接一路多用水源,即接入自来水备用,如停电应立即打开备用水源,保护炉体。


4.使用后炉体应保持真空,因炉内保温容易受潮,包真空这样下次抽真空会快些。

5.钼发热体较脆,放置坩埚及拆卸保温层是应小心,否则会损坏发热体。

6.放置工件活坩埚时要特别注意钼丝及钼片使用后会变脆,不能用力接触,更不能碰撞。

7.使用一段时间后炉内挥发物较多,如不几十清洁会影响真空度,可用无水酒精或丙酮清洁炉内反射保温层及炉壁。

8、气氛状态工作时,应配备泄压阀,及时观察压力大小,注意用气安全、压力安全。

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